Полупроводниковое керамическое кольцо

Описание продукции В области производства полупроводниковых чипов каждый крошечный компонент связан с производительностью и качеством конечного продукта. Полупроводниковое керамическое кольцо является ключевым компонентом, используемым в оборудовании для производства полупроводников и в основном используется для фиксации и поддержки пластин, чтобы обеспечить...

Отправить запрос

Теперь говорите

Керамическая чаша из нитрида алюминия

Керамическое кольцо из нитрида алюминия

Описание

Описание продукции

Полупроводниковое керамическое кольцо – это высокоэффективный-специальный керамический компонент, используемый на важнейших этапах процессов производства полупроводников. Обычно он изготавливается из прецизионных керамических материалов высокой-чистоты и-плотности и имеет круглую кольцевую структуру. Он служит ключевой расходной деталью в реакционных камерах полупроводникового оборудования, используемого для таких процессов, как диффузия, окисление, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и травление.

Его основные функции включают поддержку кремниевых пластин (или формирование определенной технологической газовой среды и однородных полей потока), выдерживая при этом экстремальные условия эксплуатации,-включая высокие температуры, высокоагрессивные газы, плазменную бомбардировку и быстрое термоциклирование. Таким образом, его производительность напрямую влияет на стабильность процесса, однородность, контроль загрязнения твердыми частицами и, в конечном итоге, на выход конечного продукта в виде чипсов.

Semiconductor Ceramic Rings

Подробности о продукте

Название продукта	Полупроводниковое керамическое кольцо
Цвет	Настраивается в соответствии с требованиями клиента
размер	Настраивается в соответствии с требованиями клиента
Упаковка	Картонная коробка/поддон/деревянный корпус (согласно требованию клиента)
Срок поставки	Стандартный продукт-В течение 3 дней
Дизайн предметов	По чертежу или образцам клиента
Функции	Хорошее качество, низкая цена, несколько заводов, доставка осуществляется в зависимости от ближайшего к вам завода.
Приложение	Промышленная керамика
Сертификат	ИСО, CE

Ключевые характеристики производительности

Материал высокой чистоты

Выбор керамического сырья высокой-чистоты эффективно снижает влияние примесей на процесс производства полупроводников. Полупроводниковые керамические кольца обычно изготавливаются из керамических материалов высокой-чистоты, таких как оксид алюминия, нитрид кремния и т. д. Они обладают чрезвычайно высокой твердостью и выдерживают механические нагрузки во время обработки, эффективно обеспечивая уровень текучести и стабильность работы чипа.

Отличная устойчивость к высоким температурам

В сложном технологическом процессе производства полупроводников многие ключевые этапы процесса, такие как диффузия и отжиг, необходимо выполнять в суровых условиях с высокими-температурами. Полупроводниковое керамическое кольцо продемонстрировало в этом отношении исключительные характеристики и может выдерживать высокие температуры в сотни и даже тысячи градусов. Даже в условиях таких экстремально высоких температур полупроводниковое керамическое кольцо может сохранять хорошую механическую прочность и структурную целостность. Более того, независимо от быстрых изменений высокой или низкой температуры, полупроводниковое керамическое кольцо не подвергается никаким неблагоприятным воздействиям, таким как деформация, растрескивание или размягчение. Это обеспечивает чрезвычайно-надежную и надежную поддержку для плавного развития высокотемпературных-процессов в производстве полупроводников, значительно улучшая качество и выход чипов.

Отличная химическая стабильность

Полупроводниковые керамические кольца обладают превосходной химической стабильностью, превосходной коррозионной стойкостью к различным химическим веществам и могут оставаться стабильными в суровых условиях обработки, обеспечивая чистоту и надежность процесса производства чипов.

Точный контроль размера

Процесс производства полупроводниковых керамических колец позволяет достичь чрезвычайно высокой точности размеров. Параметры полупроводниковых керамических колец, такие как внутренний диаметр, внешний диаметр, толщина и плоскостность поверхности, можно точно контролировать с чрезвычайно малыми допусками. В оборудовании для производства чипов такая точная размерная адаптация имеет решающее значение. Полупроводниковое керамическое кольцо может идеально взаимодействовать с другими компонентами, такими как пластины, электроды, реакционные камеры и т. д., чтобы обеспечить равномерный поток технологических газов и жидкостей, а также равномерное распределение физических полей, таких как электрические и магнитные поля, тем самым улучшая однородность и повторяемость процесса производства чипов и помогая достичь крупномасштабного-высокого-эффективного и-качественного производства чипов.

Хорошие электроизоляционные характеристики

Полупроводниковые керамические кольца обладают отличными электроизоляционными свойствами и выдерживают без пробоя высокое напряжение. Эта функция позволяет полупроводниковым керамическим кольцам играть изолирующую и изолирующую роль в ключевых местах, таких как система электродов и части подключения цепей оборудования для производства чипов, обеспечивая безопасность и стабильность электрической системы во время процесса производства полупроводников и избегая повреждения чипов или производственных аварий, вызванных электрическими проблемами.

Рыночное приложение

Полупроводниковые керамические кольца в основном используются в трех основных областях производства интегральных схем: диффузионная/термическая обработка, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и сухое травление (травление).

Процессы диффузии/окисления/LPCVD

В трубках высокотемпературных-печей керамические кольца (часто называемые «лопатками» или «лодочками») используются для горизонтальной или вертикальной укладки и поддержки нескольких кремниевых пластин. Они должны обеспечивать равномерный нагрев и отсутствие загрязнений-для всех пластин при температуре до 1200 градусов. В таких случаях широко используются керамические кольца из оксида алюминия.

Процессы химического осаждения из паровой фазы (CVD)

В реакционных камерах CVD керамические кольца служат токоприемниками или облицовками камеры, поддерживая пластины и оптимизируя поля потока реакционного газа. Их равномерная теплопроводность имеет решающее значение для достижения равномерного осаждения пленки. Керамические кольца из нитрида алюминия широко используются в этой области благодаря их превосходной теплопроводности.

Процессы сухого травления

Это одно из самых требовательных применений керамических колец. В камерах травления, наполненных плазмой высокой-энергии и агрессивными газами, керамические кольца выполняют функции фокусирующих колец, удерживающих колец или облицовок камеры. Их основная роль заключается в контроле однородности распределения плазмы, защите металлических стенок камеры от коррозии и уменьшении загрязнения твердыми частицами.Керамические кольца из оксида иттрия (Y₂O₃)стали предпочтительным выбором для современных процессов травления из-за их беспрецедентной устойчивости к плазменной эрозии на основе фтора.

Другое вспомогательное использование

Они также могут служить в качестве изолирующих компонентов в системах измерения или передачи или в качестве ограничительных колец в робототехнике для обработки пластин.

Производительность продуктов

Число	Производительность	Единица	Нитрид алюминия
			Нитрид алюминия
			JC-АН-210	JC-АН-170
1	Плотность	г/см3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Прочность на изгиб	МПа	340~360	400~420
3	Вязкость разрушения	МПа·м1/2	3.35	3.35
4	Диэлектрическая проницаемость	εr(20 градусов, 1 МГц)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Твердость	ГПа	12-16
	Твердость	СПЧ	75-80
6	Объемное сопротивление	Ом·см (20 градусов)	10 10	10 10
7	Модуль упругости	ГПа	310	320
8	Коэффициент теплового расширения	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Прочность на сжатие	МПа	2100	2000
10	Ссадины	г/см2	0.01	0.01
11	Теплопроводность	Вт/м×к(20 градусов)	200~220	160~180
12	коэффициент Пуассона	/	0.24	0.24
13	Прочность изоляции	кв/мм	26~28	30~32
14	Температура	степень	2500	2500

контроль качества

Строго следуя системе управления качеством ISO 9001, мы реализуем полный-контроль качества процесса, чтобы гарантировать стабильную поставку продукции-высокого качества:

• 100% проверка сырья, гарантирующая качество от источника
• Использование современных производственных линий горячего-прессования для обеспечения стабильных и надежных процессов.
• Комплексная собственная-система тестирования, охватывающая анализ плотности, твердости и микроструктуры.
• Наличие авторитетных сертификатов-третьих сторон (включая SGS, CE, ROHS и т. д., предоставляемые по запросу).

Мы по-прежнему стремимся к постоянному совершенствованию нашей системы управления, предоставляя клиентам последовательную и надежную гарантию качества продукции.

certificate

почему выбирают нас

Мы являемся профессиональным производителем и поставщиком различных полупроводниковых керамических колец. У нас есть профессиональная фабрика и команда по производству полупроводниковых керамических колец. Кроме того, мы специализируемся на полупроводниковых керамических кольцах и у нас есть компания в США. Честно говоря, мы предоставляем вполне профессиональный и искренний сервис. Если вам нужны высококачественные-полупроводниковые керамические кольца или другие производители керамики, а также долгосрочные-заграничные партнеры, пожалуйста, свяжитесь с нами. Мы поддерживаем любые настройки высокой-сложности и сделаем все возможное, чтобы удовлетворить ваши потребности.

Если у вас есть вопросы о керамическом патроне, вы можете нажать на нашуСвязаться с намиНажмите кнопку немедленно, и на ваши вопросы ответит профессиональная служба поддержки клиентов.
С нетерпением ждем вашего визита!