Описание продукции
Керамические патроны из карбида кремния — это современные функциональные компоненты, изготовленные из керамических материалов на основе карбида кремния высокой-чистоты.
Они специально разработаны для точной фиксации, поддержки и теплопроводности в условиях сверх-высокого вакуума и экстремальных технологических сред. Их производительность, поскольку они являются основными расходными материалами для оборудования по производству полупроводников-, такого как литографические машины, гравировальные станки и системы CVD/PVD-, напрямую определяет точность изготовления чипов, производительность и эффективность производства.
Производительность продукта
- Исключительная твердость и износостойкость: карбид кремния с твердостью по шкале Мооса, превышающей 9,2, является одним из самых твердых технических керамических материалов, уступая только алмазу. Это делает изделия из карбида кремния, такие как втулки из карбида кремния, подшипники из карбида кремния и механические уплотнения из карбида кремния, очень устойчивыми к износу и идеальными для применения в износостойкой керамике.
- Превосходная термическая и химическая стабильность: он имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения и может работать при температурах до 1650 градусов в инертной атмосфере. Эти огнеупорные свойства в сочетании с превосходной устойчивостью к тепловому удару и коррозии, вызываемой кислотами и щелочами, делают его идеальным для карбидокремниевых нагревательных элементов, защитных трубок из карбида кремния и компонентов в процессах CMP и ICP.
- Отличная теплопроводность и электрическая настраиваемость. Высокая теплопроводность (часто превосходящая медь при высоких температурах) делает пластины из карбида кремния идеальными в качестве подложек для управления температурой. Его электрическое сопротивление можно точно рассчитать, что позволяет использовать его в электростатических патронах (ESC) и в качестве полупроводникового материала с широкой запрещенной зоной для силовой электроники.
- Высокая прочность и легкий вес: спеченный карбид кремния обеспечивает высокую механическую прочность и жесткость при относительно низкой плотности, что способствует долговечности и точности таких компонентов, как ролики и лопасти из карбида кремния.
- Универсальность производства: керамике из карбида кремния можно придавать сложные формы посредством спекания, реакционной связи или химического осаждения из паровой фазы (CVD). Последующая-обработка, такая как покрытие из карбида кремния (например, покрытие CVD SiC), может еще больше улучшить свойства поверхности для конкретных применений.
Применение продукта
- Производство полупроводников: необходимо для обработки и обработки пластин. Ключевые продукты включают ЭСК для травления (ICP) и осаждения (PVD, CVD), держатели из карбида кремния для CMP, а также технологические комплекты, такие как лодочки из карбида кремния, лопатки из карбида кремния и печные трубы из карбида кремния. Высокая-степень чистоты имеет решающее значение для предотвращения загрязнения.
- Промышленность и металлургия: используется в качестве печной мебели (ролики, балки), компонентов насосов и клапанов (уплотнения, втулки), футеровок циклонов и тиглей для плавки металлов. Огнеупорные материалы из карбида кремния используются в высокотемпературных печах-.
- Энергетика и окружающая среда: компоненты теплообменников (трубки теплообменника из карбида кремния), уплотнительные кольца для насосов, работающих в суровых условиях, а также подложки для распыляемых мишеней.
- Аэрокосмическая и оборонная промышленность: используется в композитах с керамической матрицей (КМК), броне и компонентах, работающих в условиях высоких-температур и высоких-напряжений, благодаря своей способности работать при сверх-высоких температурах.
- Электроника: в качестве подложки для GaN на SiC в радиочастотных устройствах и в качестве основного материала для самих силовых полупроводников из карбида кремния.
- Автомобильная промышленность: компоненты тормозных систем и водяных насосов, а также основной материал силовой электроники электромобилей.
- Аддитивное производство: растущее использование керамических аддитивных технологий для производства сложных деталей из карбида кремния.
Обоснование выбора
Выбор нашего керамического вакуумного патрона из карбида кремния означает, что вы выбираете:
- Более высокий выход: Снижение технологических дефектов благодаря исключительной термической однородности и стабильности.
- Снижение CoO: значительное снижение затрат на пластину за счет увеличения срока службы и минимизации времени простоя на техническое обслуживание.
- Расширенные возможности процесса: наша компания имеет более 30 китайских патентов. Мы владеем передовыми техническими процессами, включая спекание, формование, шлифование, обработку на станках с ЧПУ, лазерное сверление, притирку и полировку.
- Надежное партнерство. Мы предоставляем комплексные--услуги: от проектирования и производства до тестирования и-послепродажной поддержки.
Заводская сила
Наши цифровые мастерские, умные фабрики и системы сбора данных-в режиме реального времени используют принципы бережливого производства, чтобы минимизировать отходы и максимально повысить эффективность использования ресурсов.
Интегрируя технологии обработки с ЧПУ, промышленный Интернет вещей и автоматизированные системы управления, мы достигаем бесперебойной связи и совместной работы производственного оборудования, тем самым максимизируя производственную экономию.
горячая этикетка : Керамический патрон из карбида кремния, производители керамического патрона из карбида кремния, поставщики, завод, алюминиевый нитрид AIN Специальная формаКремниевое нитридное сопло
