Благодаря бурному росту серверов искусственного интеллекта, корпусов HBM, силовых полупроводников и локализации соответствующего оборудования полупроводниковые керамические материалы стали одной из наиболее быстро-растущих областей применения передовых керамических материалов за последние годы. Примеры включают оксид алюминия и нитрид алюминия, используемые в упаковке, функциональную керамику, такую как термисторы NTC/PTC и варисторы ZnO, а также конструкционную керамику оборудования, такую как электростатические патроны (ESC), нагреватели, кольца фокусировки и компоненты изоляции камеры. Средний размер частиц исходных порошков этих материалов находится преимущественно в субмикроном диапазоне, значительная часть – в нанометровом диапазоне (<100 nm). Moreover, most are mixtures with extremely high surface energy, making them difficult to disperse, which in turn leads to significant deviations or even errors in particle size analysis.
Лазерные анализаторы размера частиц изначально использовались в качестве инструментов общего-испытания порошков. Однако с усилением отраслевой конкуренции и более глубоким пониманием приложений производителями приборов появились более специализированные методы, функции и даже специальные модели, которые лучше соответствуют профессиональным потребностям клиентов. Предоставление отраслевых-решений для полупроводниковых керамических материалов во многом соответствует тенденциям рынка.-Это связано, с одной стороны, с ограничениями, присущими инструментам лазерной дифракции, а с другой стороны, со сложным составом и широким распределением частиц полупроводниковых керамических порошков по размерам. Согласно отраслевому консенсусу, только около 10% ошибок измерений происходят из-за блока детектирования прибора, тогда как более 90% проблем возникают из-за этапов отбора проб и дисперсии. Кроме того, разные материалы имеют разные показатели преломления и коэффициенты поглощения-например, оксид алюминия имеет показатель преломления всего 1,76, а карбид кремния превышает 2,6, поэтому использование одинаковых настроек параметров для разных материалов неизбежно искажает результаты. Измерения «граничного размера частиц» являются еще одной распространенной ошибкой: чрезвычайно мелкие частицы страдают от резкого падения интенсивности рассеяния, в то время как чрезвычайно крупные частицы сталкиваются с такими проблемами, как концентрированные сигналы рассеяния и недостаточное разрешение.