Несущий диск из карбида кремния

Несущий диск из карбида кремния

Описание продукции В производстве полупроводников токоприемник из карбида кремния (SiC) (также называемый держателем пластины, основанием или лотком) для CVD-оборудования является критически важным расходным материалом. Его важность обусловлена ​​уникальными свойствами карбида кремния, которые делают его идеальным карбидом кремния...
Отправить запрос
Теперь говорите
Описание

Описание продукции

 

Керамические несущие пластины из карбида кремния изготавливаются из сырья карбида кремния (SiC) высокой-чистоты с помощью таких процессов, как реакционное спекание (реакционно-связанный карбид кремния), спекание без давления (спеченный карбид кремния) или рекристаллизация (рекристаллизованный карбид кремния/рекристаллизованный SiC). Сам материал SiC обладает прочными ковалентными связями и стабильной структурой, что придает несущим пластинам исключительные физические и химические свойства (свойства карбида кремния). Они обычно используются для замены традиционных материалов, таких как кварц и оксид алюминия, особенно в областях, требующих чрезвычайно высоких стандартов чистоты, термостойкости и термостойкости.

Silicon carbide carrier disc for CVD equipment.

 

Ключевые эксплуатационные характеристики и параметры

 

  • Высокая-Температурная стойкость: способна стабильно долгосрочно-работать при температуре выше 1600 градусов с кратковременной-допуском, достигающей 1650 градусов и выше. Подходит для сценариев применения сверх-керамики (сверхвысокотемпературной керамики).
  • Отличная теплопроводность: высокая теплопроводность карбида кремния способствует быстрой и равномерной передаче тепла, уменьшая температурные градиенты во время процессов.
  • Высокая твердость и износостойкость. Благодаря твердости по шкале Мооса, близкой к 9,5, это превосходная -износостойкая керамика, устойчивая к износу и загрязнению частицами.
  • Сильная стойкость к тепловому удару: благодаря низкому коэффициенту теплового расширения он может выдерживать резкие изменения температуры без растрескивания.
  • Химическая инертность: Устойчив к кислотной и щелочной коррозии и маловероятен вступать в реакцию с большинством технологических газов или материалов. Химический состав карбида кремния стабилен.
  • Высокая чистота. Материал имеет плотную структуру, например спеченный карбид кремния, с гладкой поверхностью, которая сводит к минимуму адсорбцию примесей, что делает его пригодным для технологических сред с высокой-чистотой.

ceramicstimes performance parameter

Основные приложения и сопутствующие продукты

 

  • Полупроводниковая промышленность: используется для переноски кремниевых пластин в высокотемпературных-процессах, таких как диффузия, окисление, отжиг и CVD. Также используется в качестве подложки SiC для эпитаксии кремниевых пластин.
  • Фотоэлектрическая промышленность: служит в качестве несущей подложки в процессах спекания и нанесения покрытия на солнечные элементы.
  • Производство светодиодов: используется в реакторах MOCVD для перевозки сапфировых подложек.
  • Прецизионное спекание керамики: действует как полка или решетчатая печь для высокотемпературного-спекания электронной керамики, конструкционной керамики и композитов с керамической матрицей.
  • Промышленные компоненты: широко используются в производстве колец механического уплотнения, подшипников, сопел, втулок/втулок, защитных трубок/трубок термопар и других компонентов SiC.
  • Огнеупорные материалы: Служит современным огнеупорным материалом, используемым для футеровки печей.
  • Научные исследования и испытания. Функционирует в качестве устройства поддержки образцов в высокотемпературных-печах и испытаниях материалов.

 

Контроль качества

 

Мы строго следуем системе управления качеством ISO 9001, чтобы обеспечить единообразие:

  • 100% проверка сырья
  • Усовершенствованные производственные линии-горячего прессования
  • Собственные-тесты: плотность, твердость, анализ микроструктуры
  • Сертификаты сторонних-сторонних организаций (SGS, CE, ROHS доступны по запросу)

 

certificate

 

exhibition

workshop

workshop

 

 

 

 

горячая этикетка : Несущий диск из карбида кремния, Несущий диск из карбида кремния производители, поставщики, завод, Керамическая трубка из карбида кремнияПроводящая керамическая форсунка